Η τεχνολογία χάραξης δέσμης ιόντων είναι μια εξαιρετικά λεπτή τεχνολογία επεξεργασίας που προέκυψε από τη δεκαετία του '70 του 20ου αιώνα με την ανάπτυξη στερεών συσκευών προς την κατεύθυνση του πλάτους γραμμής κάτω του μικρού, η οποία χρησιμοποιεί το φαινόμενο διασκορπισμού του βομβαρδισμού με δέσμη ιόντων σε στερεές επιφάνειες για την απογύμνωση τη γεωμετρία που απαιτείται στην επεξεργασμένη συσκευή.
Σε σύγκριση με τη μηχανική κατεργασία, τη χημική διάβρωση, τη διάβρωση πλάσματος, τη διάβρωση πλάσματος και άλλες διαδικασίες, η χάραξη δέσμης ιόντων έχει τα ακόλουθα χαρακτηριστικά:
(1) Είναι μη επιλεκτικό στα επεξεργασμένα υλικά και μπορεί να χαραχθεί οποιοδήποτε υλικό συμπεριλαμβανομένων των αγωγών, των ημιαγωγών και των μονωτών.
(2) Έχει εξαιρετικά λεπτή ικανότητα επεξεργασίας. Είναι ικανό να χαράξει πολύ λεπτά μοτίβα αυλακώσεων, τα οποία βρίσκονται στο εύρος των micron και sub-micron, και μπορεί ακόμη και να χαράξει γραμμές τόσο μικρές όσο 0,008 μm.
(3) Η χάραξη έχει καλή κατευθυντικότητα και υψηλή ανάλυση. Το δείγμα του βομβαρδίζεται κατευθυντικά από μια ευθυγραμμισμένη δέσμη ιόντων στο κενό, η οποία είναι μια κατευθυντική χάραξη που μπορεί να ξεπεράσει το αναπόφευκτο φαινόμενο διάτρησης και χάραξης στη χημική υγρή επεξεργασία, και η άκρη του χαραγμένου σχεδίου είναι αιχμηρή και καθαρή. Υψηλής ανάλυσης. Η ακρίβεια μπορεί να φτάσει το 0.1~0.01μm και η τραχύτητα της επιφάνειας είναι καλύτερη από 0,05μm.
(4) Ευέλικτη δυνατότητα επεξεργασίας και καλή επαναληψιμότητα. Επειδή η πυκνότητα δέσμης, η ενέργεια, η γωνία πρόσπτωσης, η ταχύτητα κίνησης ή περιστροφής του τραπεζιού τεμαχίου εργασίας και άλλες παράμετροι εργασίας της δέσμης ιόντων μπορούν να ελεγχθούν ανεξάρτητα και με ακρίβεια σε αρκετά μεγάλο εύρος, είναι εύκολο να επιτευχθούν οι βέλτιστες συνθήκες επεξεργασίας για διαφορετικά δείγματα , το οποίο μπορεί όχι μόνο να ελέγξει την κλίση του πλευρικού τοιχώματος της γραμμής, αλλά και να ελέγξει το βάθος του αυλακιού ώστε να αλλάζει ανάλογα με μια συγκεκριμένη συνάρτηση (το βάθος του αυλακιού που αλλάζει ανάλογα με μια συγκεκριμένη συνάρτηση ονομάζεται στάθμιση βάθους).
(5) Το μειονέκτημα της χάραξης με δέσμη ιόντων είναι ότι υπάρχει ένα φαινόμενο επανααπόθεσης (φαινόμενο εκ νέου εναπόθεσης) επιμεταλλόμενων υλικών. Πρέπει να αντιμετωπιστεί στην πράξη.