Μηχανή χάραξης ακτίνων ιόντων
Περιγραφή
Η χάραξη δέσμης ιόντων (IBE) είναι μια τεχνική λεπτής μεμβράνης που χρησιμοποιεί μια πηγή ιόντων για να πραγματοποιήσει διαδικασίες αφαίρεσης υλικού σε ένα υπόστρωμα. Το IBE είναι ένας τύπος εκτόξευσης δέσμης ιόντων και, είτε χρησιμοποιείται για προ-καθαρισμό είτε για χάραξη με σχέδια, συμβάλλει στη διασφάλιση εξαιρετικής πρόσφυσης και ακριβούς σχηματισμού τρισδιάστατων δομών.
Αυτό το μηχάνημα είναι μια λύση εξοπλισμού φυσικής χάραξης υψηλής ευκρίνειας, υψηλής ακρίβειας και υψηλής αξιοπιστίας νανοκλίμακας.
Υποστηρίζει ακρίβεια πλάτους νανοσύρματος και χάραξη μοτίβων πολλαπλών τύπων υψηλής αναλογίας, χωρίς περιορισμό από τον τύπο υλικού, χάραξη υψηλής ευθυγράμμισης, υψηλό ρυθμό χάραξης και καλή επαναληψιμότητα.
Εφαρμογή
Επίπεδες σχάρες, ειδικές σχάρες μεγάλης επιφάνειας, εξαρτήματα περίθλασης DOE, συσκευές MEMS, κυκλώματα λεπτής μεμβράνης, φωτονικές ολοκληρωμένες συσκευές
Χαρακτηριστικά
- Η πηγή ιόντων πυρήνα συστατικού είναι ανεξάρτητα ελεγχόμενη.
- Συμβατό με IBE και RIBE, με προαιρετικούς τρόπους λειτουργίας.
- Κατάλληλο για χάραξη υψηλής ακρίβειας διαφόρων υλικών, με μέγεθος πλάτους γραμμής έως 20 nm.
- Καλή ικανότητα διαδικασίας και αξιοπιστία παραγωγής.
- Το κάτω και τα πλαϊνά τοιχώματα της σχάρας SiO/Si είναι ίσια.
- Επιτρέπει τον ανεξάρτητο έλεγχο της ενέργειας δέσμης και της ροής ιόντων.
- Η διαδικασία πραγματοποιείται σε περιβάλλον εργασίας χαμηλής πίεσης.
- Παράγει ελεγχόμενη ανισότροπη χάραξη.
- Παρέχει μέσα για την χάραξη όλων των γνωστών υλικών.
- Επιτρέπει τον έλεγχο γωνιακού προφίλ χάρη στη μεταβλητή γωνία δέσμης χάραξης σε σχέση με την επιφάνεια δείγματος/μάσκας.
- Επιτρέπει τον έλεγχο προφίλ/πλευρικού τοιχώματος και τη διαμόρφωση χαρακτηριστικών.
- Οι δυνατότητες αντιδραστικών αερίων επιτρέπουν υψηλότερους ρυθμούς χάραξης και μεγαλύτερη επιλεκτικότητα χάραξης διαφόρων υλικών μέσω αντιδρώντων ειδών.
Τεχνικές παράμετροι
|
Μέγεθος υποστρώματος με δυνατότητα χάραξης |
6 ίντσες |
|
Ομοιομορφία χάραξης |
±5% |
|
Χαλκώσιμο υλικό |
SiO2, SiNx, Ζαφείρι, διαμάντι, νιοβικό λίθιο, οξείδιο μετάλλου κ.λπ. |
|
Διαθέσιμα αέρια |
N2, O2, Ar, Αέριο με βάση το φθόριο ή μικτό |
|
Πηγή ιόντων RF |
Ισχύς FR: 1KW, Ενέργεια δέσμης ιόντων: 1000eV, Ρεύμα δέσμης ιόντων: 1000mA |
Δημοφιλείς Ετικέτες: μηχανή χάραξης ακτίνων ιόντων, Κίνα κατασκευαστές μηχανών χάραξης ακτίνων ιόντων, εργοστάσιο
